Филатов А.Ю., Сидорко В.И., Ковалев С.В.
Производительность полирования анизотропных монокристаллических материалов для оптоэлектроники
Автор: Филатов А.Ю., Сидорко В.И., Ковалев С.В. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: с.65-76
УДК: 621.623
Є складовою частиною документа: Сверх-твердые материалы
| | Назва документа, в якому знаходиться дана частина: | Сверх-твердые материалы |
| | Дата видання документа, в якому знаходиться дана частина: | 2016 |
| | Номер головного документа: | №2 |
Теми документа
|