Прищепа М.М., Погребняк В.П.
Мікроелектроніка
Рiк видання: 2011 Мiсце видання: Харків Видавництво: ХАІ
Автор: Прищепа М.М., Погребняк В.П. Авторський знак: П77 Вид автора: персона
Мова: Українська Обсяг: 736 с.
Шифр: 621.382(075.8) УДК: 621.382 ISBN: 978-966-662-272-6
| Аннотацiя: | Розглянуто еволюцію технологічних процесів і описано фізичні принципи основних технологічних операцій виробництва сучасних надвеликих інтегрованих мікросхем. Розглянуто перспективи вдосконалення технологічних операцій і фундаментальні обмеження мікротехнології. На основі аналізу фізичних моделей технологічних перетворень мікротехнології отримано співвідношення для розрахунків рівнів технологічних факторів і параметрів створюваних структур і елементів, які використовують під час проектування технологічних процесів великих і надвеликих інтегрованих мікросхем. Рівень викладення відповідає сучасним досягненням мікроелектроніки. Висвітлення питань мікротехнології супроводжується прикладами розрахунків і комплектами задач для самостійної роботи.
Для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за напрямом "Електронні апарати". Може бути корисним для аспірантів і спеціалістів, що проектують і застосовують інтегровані мікросхеми.
|
| | Додаткові відомості щодо назви: | Навчальний посібник. В 3-х ч. |
| | Назва частини: | Основи мікротехнології |
| | Відомості про відповідальність: | За ред. М.М.Прищепи |
| | Назва серії: | МОН, молоді та спорту України. Національний аерокосмічний ун-тет ім. М.Є.Жуковського "Харківський авіаційний ін-тут" |
Теми документа
| Примірники |
| Місце збереження |
Інвентарний номер |
Номер |
Кількість |
Видано |
| Аб - Абонемент |
243427 |
|
1 |
0 |
| ЧЗ - Читальний зал |
243426 |
|
1 |
0 |
|