Володарський Є., Кошева Л., Шантир А.
Калібрування растрових електронних мікроскопів під час лінійних вимірювань у нанометровому діапазоні
Автор: Володарський Є., Кошева Л., Шантир А. Вид автора: персона
Мова: Українська Обсяг: с.34-38
УДК: 53.089.6+621.385
Є складовою частиною документа: Метрологія та прилади
| | Назва документа, в якому знаходиться дана частина: | Метрологія та прилади |
| | Дата видання документа, в якому знаходиться дана частина: | 2012 |
| | Номер головного документа: | №6 |
Теми документа
|