Оксанич А.П., Седин Е.А.
Разработка технологии получения кремниевых эпитаксиальных структур с уменьшенной величиной концентрационной переходной области
Автор: Оксанич А.П., Седин Е.А. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: с.100-104
УДК: 546.28
Є складовою частиною документа: Прикладная радиоэлектроника
| | Назва документа, в якому знаходиться дана частина: | Прикладная радиоэлектроника |
| | Дата видання документа, в якому знаходиться дана частина: | 2012 |
| | Номер головного документа: | №1 |
Теми документа
|