Савельев А., Железный А., Локтев Д.
Влияние технологических режимов нанесения пленок гексаметилдисилазана в лазме ионного разряда на физико-механические свойства терморегулирующих покрытий
Автор: Савельев А., Железный А., Локтев Д. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: с. 24-28
УДК: 621.79
Є складовою частиною документа: Технология машиностроения
| | Назва документа, в якому знаходиться дана частина: | Технология машиностроения |
| | Дата видання документа, в якому знаходиться дана частина: | 2012 |
| | Номер головного документа: | №4 |
Теми документа
|