Васин В., Степанчиков С.
Повышение равномерности нанесения тонких пленок в вакууме
Автор: Васин В., Степанчиков С. Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: с. 27-30
УДК: 539.23
Є складовою частиною документа: Технология машиностроения
| | Назва документа, в якому знаходиться дана частина: | Технология машиностроения |
| | Дата видання документа, в якому знаходиться дана частина: | 2011 |
| | Номер головного документа: | №6 |
Теми документа
|