Білоус М., Гермаш Л., Дрозденко А.
Вплив тнрмічного відпалу на поверхню монокристалу карбіду кремнію 6H-SiC
Автор: Білоус М., Гермаш Л., Дрозденко А. Вид автора: персона
Мова: Українська Обсяг: с.108-111
УДК: 621.396
Є складовою частиною документа: Вісник Тернопільського державного технічного університету
| | Назва документа, в якому знаходиться дана частина: | Вісник Тернопільського державного технічного університету |
| | Дата видання документа, в якому знаходиться дана частина: | 2000 |
| | Номер головного документа: | №2 |
| | Том головного документа: | том 5 |
Теми документа
|