Іващенко В., Порада О., Іващенко Л.
Характеристика плазмохімічних тонких плівок карбонітриду кремнію, осаджених із гексаметилдісилану
Автор: Іващенко В., Порада О., Іващенко Л. Вид автора: персона
Мова: Українська Обсяг: с. 86-94
УДК: 621.723
Є складовою частиною документа: Порошковая металлургия
| | Назва документа, в якому знаходиться дана частина: | Порошковая металлургия |
| | Дата видання документа, в якому знаходиться дана частина: | 2009 |
| | Номер головного документа: | №1 |
Теми документа
|