Вейко В.П.
Опыт внедрения лазерной обработки тонких пленок в микроэлектронике
Рiк видання: 1977 Мiсце видання: Ленинград Видавництво: ЛДНТП
Автор: Вейко В.П. Авторський знак: В26 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: 32 с.
Шифр: 621.378 УДК: 621.378
| Назва серії: | Прогрессивные методы обработки металлов и сплавов |
Теми документа
Примірники |
Місце збереження |
Інвентарний номер |
Номер |
Кількість |
Видано |
Аб - Абонемент |
106694 |
|
1 |
0 |
|