укр
рус
eng
Головна сторінка
Електронний каталог
Опис документа
Плазменная технология в производстве СБИС
Рiк видання:
1987
Мiсце видання:
М.
Видавництво:
Мир
Авторський знак:
П37
Мова:
Російська
Обсяг:
469 с.
Шифр:
546.28
УДК:
546.28+533+621.382
Відомості щодо назви
Відомості про відповідальність
:
Под ред. Н.Айнспрука и Д.Брауна
Інформація про переклад
Мова оригіналу
:
Англійська
Перекладач
:
Ю.М.Золотарева, В.В.Юдина. Под ред. Машковой Е.С.
Загальна інформація
Ілюстрації
:
Ил.
Теми документа
УДК/ 5 Математика. Природничі науки/ 53 Фізика/ 533 Механіка газів. Аеромеханіка. Фізика плазми
УДК/ 5 Математика. Природничі науки/ 54 Хімія. Кристалографія. Мінералогія/ 546 Неорганічна хімія
УДК/ 6 Прикладні науки. Медицина. Технологія/ 62 Техніка в цілому/ 621 Загальне машинобудування. Ядерна технологія. Електротехніка/ 621.3 Електротехніка/ 621.38 Електроніка. Мікроелектроніка
Примірники
Місце збереження
Інвентарний номер
Номер
Кількість
Видано
ЧЗ - Читальний зал
163847
1
0
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'