Данилин Б.С.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Рiк видання: 1989 Мiсце видання: М. Видавництво: Энергоатомиздат
Автор: Данилин Б.С. Авторський знак: Д18 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: 328 с.
Шифр: 533.9 УДК: 533.9+539.216 ISBN: 5-283-03939-0
Теми документа
| Примірники |
| Місце збереження |
Інвентарний номер |
Номер |
Кількість |
Видано |
| ЧЗ - Читальний зал |
172144 |
|
1 |
0 |
|