Полтавцев Ю.Г., Князев А.С.
Технология обработки поверхностей в микроэлектронике
Рiк видання: 1990 Мiсце видання: К. Видавництво: Тэхника
Автор: Полтавцев Ю.Г., Князев А.С. Авторський знак: П52 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: 206 с.
Шифр: 621.382 УДК: 621.382+681.3 ISBN: 5-335-00572-6
Теми документа
| Примірники |
| Місце збереження |
Інвентарний номер |
Номер |
Кількість |
Видано |
| Аб - Абонемент |
182616 |
|
1 |
0 |
| Аб - Абонемент |
213534 |
|
1 |
0 |
| ЧЗ - Читальний зал |
182615 |
|
1 |
0 |
|